珠海突围半导体设备业，国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世|界面新闻

珠海突围半导体设备业，国内首台晶圆级多驱解离刻蚀设备面世|界面新闻

吹了吹风. 2025-05-27 资讯榜 112 次浏览 0个评论
界面新闻记者 | 张熹珑 广东珠海是国内集成电路起步最早的城市之一，但长期以来设计业“一业独大”。现在，这座城市面向相对薄弱的制造环节进军。 5月23日，珠海恒格微电子装备有限公司（简称“恒格微电子”）发布国内首台晶圆级等离子多

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